在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實(shí)現(xiàn)工作的，加速度是個(gè)空間矢量，一方面，要準(zhǔn)確了解物體的運(yùn)動狀態(tài)，必須測得其三個(gè)坐標(biāo)軸上的分量；另一方面，在預(yù)先不知道物體運(yùn)動方向的場合下，只有應(yīng)用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實(shí)現(xiàn)雙軸正負(fù)90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。

目前的三軸高靈敏度加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應(yīng)的放大和濾波電路進(jìn)行采集。這個(gè)和普通的加速度傳感器是基于同樣的原理，所以在一定的技術(shù)上三個(gè)單軸就可以變成一個(gè)三軸。對于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來看，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用。但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測，碰撞監(jiān)測，測量建筑物振動,風(fēng)機(jī),風(fēng)力渦輪機(jī)和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動。

三軸高靈敏度加速度傳感器的好處就是在預(yù)先不知道物體運(yùn)動方向的場合下，只有應(yīng)用三維加速度傳感器來檢測加速度信號。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點(diǎn)，可以測量空間加速度，能夠全面準(zhǔn)確反映物體的運(yùn)動性質(zhì)。

高靈敏度加速度傳感器具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，可靠性和抗干能力。普通加速度傳感器通常需要在標(biāo)準(zhǔn)振動臺上進(jìn)行標(biāo)定，給使用帶來不便。高靈敏度加速度傳感器采用先進(jìn)的微電子加工技術(shù)和電容式測量原理，可獲得優(yōu)良的低頻響應(yīng)，通過重力加速度g就可對傳感器進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)，且內(nèi)置自檢系統(tǒng)。

1、設(shè)備振動測量：高靈敏度系列集成加速度傳感器廣泛應(yīng)用于各行業(yè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測。設(shè)備運(yùn)行時(shí)的振動量是估量設(shè)備運(yùn)行是否正常的重要指標(biāo)。該傳感器可以測量從直流到2kHz的振動量，輸出信號經(jīng)濾波、檢波，對設(shè)備的振動大小給出精確直觀的指示。

2、沖擊測量：大量應(yīng)用于汽車安全氣囊和安全帶系統(tǒng)中。撞車時(shí)，傳感器受到?jīng)_擊，能在1 ms內(nèi)輸出一個(gè)幅度比例于沖擊加速度的脈沖信號，當(dāng)沖擊加速度達(dá)到一定值時(shí)，該信號將使安全氣囊爆發(fā)或使安全帶鎖緊，以保護(hù)乘車人的生命。

3、傾斜角測量:當(dāng)傳感器傾斜放置時(shí)，傳感器的輸出為重力加速度在傳感器測量軸上的分量，即輸出與傾斜角存在反正弦的函數(shù)關(guān)系。當(dāng)傾斜角較小時(shí)，近似為線性關(guān)系。

高靈敏度系列集成加速度傳感器基于電容式測量原理測量加速度，其輸出電信號與測量加速度成正比例，高靈敏度系列集成加速度傳感器原理框圖如下：

用螺栓將傳感器緊固于被測設(shè)備上。 

傳感器殼體尺寸圖

傳感器底座尺寸圖